Речь про выбивание атомов плазмой/частицами?
По-хорошему да, механизм распыления тоже учтен
Но я пока материаловедческой стороны не касалась - как раз таки в планах стоит :D
ну я электронный микроскопист, там есть такой эффект когда энергии пучка высокие (200-300кэВ), атомы с какой-то низкой но существенной вероятностью выбиваются из своих кристаллографических позиций в результате "прямого попадания", и это понижает разрешение Ъ-мелкоскопов. обычные механизмы beam damage скорее термические, это скорее экзотика, но в вашей сфере вероятно более актуально. т.е. я именно про atomic displacements, не про впрыск обратно в плазму