текущие названия техпроцессов не имеют отношения к каким-то конкретным размерам техпроцесса, можно сравнивать по максимально возможной плотности транзисторов, например у текущего TSMC N5 (типа "5нм") - это 173М транзистора на квадратный мм, а самсунговый 5LPE (тоже типа "5нм") плотность 127М транзистора на квадратный мм